ウェーハ加熱時の安全距離

ウェーハにより多くの熱を与える方法 シリコンウェーハを加熱するとき、実際にはエネルギーの損失と戦っていることになります。通常の反射板の問題点は、熱が漏れ出してしまうことです。多くの熱がチャンバーの壁に逃げてしまい、無駄になってしまいます。 そこで、私たちは金でコーティングされた反射板を使用します。...