半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

爆発性のある化学薬品が使用される洗浄エリアで、機器を安全に保つためにはどうすればよいのか？半導体製造ラインで働いたことがある人なら、その環境がどのようなものかわかるでしょう。化学薬品が入った槽の上に、ヒーターが設置されているのです。これは非常に危険な状況です。下には可燃性の溶剤があり、上には高熱の...