スマートファクトリーで適切な加熱を実現するには もし、近代的でデジタル化された製造施設を構築しているのであれば、加熱管理が非常に難しいことに気づいているはずです。一般的な赤外線ランプは、熱が漏れやすく、対流や反射によって多くのエネルギーが無駄に失われます。その結果、ウェーハ自体ではなく、装置の筐体...

空気を加熱するのはやめよう：熱効率を高めるためのより良い方法 半導体製造工場で働く人なら、エネルギーコストを抑えつつ、所定の温度を達成するのがどれほど難しいかご存知でしょう。多くの人は、単により多くの熱を適用しようとしますが、それは無駄なことです。私たちは、金コーティングされたツインチューブ型ラン...