可燃性化学物質の周辺でIRヒーターを安全に使用するために 正直に言えば、赤外線ランプを化学洗浄ラインに設置するのは、まるで火遊びのようなものです。そこには揮発性の蒸気や腐食性のある物質が漂っています。もし普通のランプを使ったら、それはまさに災害を招く行為です。 私たちは、加熱素子を特別なシールで覆...

無駄なエネルギーの消費を止めましょう シリコンウェーハを加熱する際、1ワットというエネルギーも無駄にしてはいけません。 問題は、一般的なIR放射体はエネルギーをあらゆる方向に放出してしまうことです。つまり、エネルギーの半分がウェーハではなく、装置の筐体を温めているだけです。これは明らかな無駄遣いで...

不安定な化学物質が存在する環境でIRヒーターを安全に使用するために 正直に言えば、ウェーハの洗浄作業は危険な作業です。可燃性の溶剤や腐食性のある蒸気に常にさらされているのです。そのような環境では、一般的な赤外線ランプは単なる工具ではなく、むしろリスク要因となります。ちょっとした火花や部品の漏れだけ...

リソグラフィー工程においては、フォトレジストの焼成中に0.3℃の温度変動があるだけで、製品の寸法精度が悪化し、多くの不良品が生じます。安定性を後から追及するのではなく、設計段階でそれを考慮しておく必要があります。 技術的に重要な点 私たちは、温度均一性が目的ではなく、規格として定められている赤外線...