ウェーハを清潔に保ち、歩留まりを高く維持するために クラス100のクリーンルームでMEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際には、何が起こっても困ります。わずかな汚れや、加熱源からのガス放出でも、歩留まりは急激に低下してしまいます。本当に厄介です。 だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRランプ...

赤外線加熱と強制送風：ウェーハの加熱にはどちらが適しているのか？ もし、ウェーハの加工において熱風から赤外線加熱に切り替えようと考えているなら、重要なのは「より優れた加熱源」を見つけることではなく、そのエネルギーを実際にシリコン表面にどうやって伝えるかという点です。 強制送風の場合、待つしかありま...

不安定な化学物質が存在する環境でIRヒーターを安全に使用するために 正直に言えば、ウェーハの洗浄作業は危険な作業です。可燃性の溶剤や腐食性のある蒸気に常にさらされているのです。そのような環境では、一般的な赤外線ランプは単なる工具ではなく、むしろリスク要因となります。ちょっとした火花や部品の漏れだけ...

はじめに このスマートな赤外線加熱システムは、半導体パッケージングの現場という特定の場所のために開発されました。その目的は単純です――必要な場所に迅速かつ正確に熱を届け、無駄なエネルギー消費を避けることです。 これは単なるヒーターではありません。特に清潔室といった、スペースや再現性、エネルギー効率...