リソグラフィーの工程においては、ご存知の通り、わずか1度の温度変動だけでもフォトレジストの厚みが狂ってしまいます。また、硬質化処理時の不均一性は、最終的な製品品質を低下させる原因となります。そうした問題を解決するために、私たちはツインチューブ式の赤外線加熱ランプを開発しました。
技術的に重要な点 ツインチューブ式の短波長赤外線ランプは、迅速に加熱でき、ウェハ全体の温度を±0.1℃以内に保つことができます。石英製のケースや反射器の形状により、再現性の高い加熱パターンが実現されます。また、クリーンルーム対応の材料を使用しているため、安定状態になれば粒子の発生も抑えられます。出力は5,000時間以上にわたって安定し、強度の変動は5％未満です。このシステムは、計画外の停止なく24時間365日稼働可能です。
実際の工程で役立つ理由 フォトレジストの処理において、このランプは、一貫したソフトベイクおよびハードベイクの条件を実現し、重要な寸法の管理を正確に行うのに役立ちます。また、迅速な熱応答により、ベイク時間を短縮でき、高度なウェハ処理においても熱負荷を過度に増加させることなく、処理速度を上げることができます。この安定性は、梱包時の乾燥や硬化処理にも役立ちます。ここでは、予測可能な温度変化が重要です。その結果、不良品が減少し、シフトごとに安定した性能が得られます。
注意すべき点 このランプは既存のオーブンモジュールやベイクプレートに直接取り付けられますが、基板面との正確な位置合わせが不可欠です。わずかなずれでも、測定可能な勾配として現れます。工具に適した電圧やコネクタを選定し、各サイクルの終了時には石英の破壊を防ぐために適切な冷却を行う必要があります。