ウェーハを清潔に保ち、歩留まりを高く維持するために クラス100のクリーンルームでMEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際には、何が起こっても困ります。わずかな汚れや、加熱源からのガス放出でも、歩留まりは急激に低下してしまいます。本当に厄介です。 だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRランプ...

IRランプが生産効率を台無しにするのを防ぎましょう。 半導体製造工場では、ランプの故障は大きな問題です。単に生産停止に陥るだけではありません。 重負荷がかかってクォーツ管が割れてしまったと想像してみてください。ガラスの破片やほこりがウェーハに直接降り注ぎます。そうなると、生産効率は完全に失われてし...

200mmラインにおける乾燥工程の重要性 200mmラインでは、洗浄後の乾燥工程が小さな温度ドリフトを実際の歩留まりの問題に変える場所です。残留水分や不均一な加熱は、エッジビード、パターン崩壊、粒子欠陥として現れ、その結果、ファブは再加工や廃棄物に費用を支払うことになります。我々は、問題に対して熱...