팹 IR용 전압 조절기

리소그래피 공정에서는, 포토레지스트를 굽는 동안 0.3°C만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 따라서 안정성을 사후에 추구하는 것이 아니라, 설계 단계에서부터 열 관리를 고려해야 합니다. 기술적으로 중요한 점들 우리는 온도 균일성이 목표가...