공장 건조 공정에 대한 에너지 진단

IR 램프가 웨이퍼의 품질을 해치는 것을 막으세요. 반도체 공장에서 램프가 고장나는 것은 정말 큰 문제입니다. 단순히 가동 중단 문제만이 아닙니다. 무거운 부하로 인해 석영관이 파열된다고 상상해보세요. 유리 조각과 먼지들이 그대로 웨이퍼 위로 떨어집니다. 그러면 웨이...