MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

웨이퍼를 깨끗하게 건조시켜 생산성을 높이는 방법 클래스 100급 청정실에서 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 어떠한 문제도 발생해서는 안 됩니다. 아주 작은 불순물이라도 있거나, 가열 과정에서 가스가 배출된다면 생산성이 급격히 떨어집니다. 이는 매우 당황스러운 상황...