웨이퍼 건조 모듈 200mm

200mm 라인에서의 수분 제거 모듈 200mm 라인에서는 세척 후 건조 단계에서 작은 온도 편차가 실제 수율 문제로 발전합니다. 잔여 수분과 불균일한 가열은 엣지 비드, 패턴 붕괴, 입자 결함으로 나타나며, 이로 인해 팹은 재작업 및 스크랩 비용을 부담하게 됩니다....