웨이퍼를 깨끗하게 건조시켜 생산성을 높이는 방법 클래스 100급 청정실에서 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 어떠한 문제도 발생해서는 안 됩니다. 아주 작은 불순물이라도 있거나, 가열 과정에서 가스가 배출된다면 생산성이 급격히 떨어집니다. 이는 매우 당황스러운 상황...

IR 램프가 웨이퍼의 품질을 해치는 것을 막으세요. 반도체 공장에서 램프가 고장나는 것은 정말 큰 문제입니다. 단순히 가동 중단 문제만이 아닙니다. 무거운 부하로 인해 석영관이 파열된다고 상상해보세요. 유리 조각과 먼지들이 그대로 웨이퍼 위로 떨어집니다. 그러면 웨이...

200mm 라인에서의 수분 제거 모듈 200mm 라인에서는 세척 후 건조 단계에서 작은 온도 편차가 실제 수율 문제로 발전합니다. 잔여 수분과 불균일한 가열은 엣지 비드, 패턴 붕괴, 입자 결함으로 나타나며, 이로 인해 팹은 재작업 및 스크랩 비용을 부담하게 됩니다....