폴리이미드 경화용 적외선 램프

리소그래피 공정에서는, 아주 약간이라도 폴리이미드가 변형되면 선폭 제어와 생산 효율에 심각한 영향을 미칩니다. 웨이퍼 전체에 걸친 온도 불균일성은 매우 큰 문제가 됩니다. 이러한 문제를 해결하기 위해 우리는 그런 제약 조건을 극복하기보다는 그것과 함께 작동할 수 있는...