ASML 리소그래피 램프 부품

생산 현장에서는 램프가 예정된 시간에 고장 나서는 안 됩니다. 예상치 못한 순간에 램프가 고장나면, 그로 인해 포토레지스트의 경화 과정에 문제가 생기고, 웨이퍼들도 폐기되게 됩니다. 근본적인 원인을 파악하기도 전에 말입니다. 우리는 ASML 리소그래피 램프의 예비 부...