팹 램프용 석영 유리 실드
열을 최대한 활용하기 위해: 왜 석영 유리 보호장치가 중요한가?
스마트 팩토리를 운영한다면 그 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 적외선 시스템은 매우 정밀해야 하지만, 공장 내부 환경은 엉망진창입니다. 이때 석영 유리 보호장치가 필요합니다. 이것들은 마치 램프의 경호...
유리 웨이퍼 가공용 적외선 램프
팹 내에서 유리 웨이퍼를 처리할 때는 열 변동이 발생할 여지가 전혀 없습니다. 만약 소프트 베이크 과정에서 온도가 0.5°C만큼만 벗어나도, 포토레지스트의 두께가 일정하지 않게 됩니다. 반면, 하드 베이크 과정에서도 온도가 일정하지 않으면 패턴이 손상될 수 있습니다....