웨이퍼 경화 램프용 반사기

공정 현장에서 포토레지스트 베이킹은 선택 사항이 아닙니다—열 예산입니다. 1°C의 온도 변화는 CD를 이동시킬 수 있으며, 지친 리플렉터의 입자는 웨이퍼를 폐기할 수 있습니다. 경화 램프의 리플렉터는 열 제어와 오염 방지를 위한 첫 번째 방어선입니다. 기술적으로 중요...