유리 웨이퍼 가공용 적외선 램프

팹 내에서 유리 웨이퍼를 처리할 때는 열 변동이 발생할 여지가 전혀 없습니다. 만약 소프트 베이크 과정에서 온도가 0.5°C만큼만 벗어나도, 포토레지스트의 두께가 일정하지 않게 됩니다. 반면, 하드 베이크 과정에서도 온도가 일정하지 않으면 패턴이 손상될 수 있습니다....