에너지 효율적인 웨이퍼 히터

반도체 처리실의 벽을 더 이상 가열하지 마세요. 만약 반도체 처리실에서 일반적인 대류식 또는 전방향 가열 방식을 사용해본 적이 있다면, 그 고통스러움을 잘 알 것입니다. 웨이퍼를 가열하려고 하지만, 결국 웨이퍼 외의 모든 부분까지 열이 전달됩니다. 내부 벽면은 뜨거워...