반도체 레이저 다이오드 히터

반도체 제조 라인에서 포토레지스트 베이크 중 0.3°C의 온도 편차는 대량의 제품을 불량으로 만들기에 충분하다. 이미 CD 균일성, 레지스트 프로파일, 입자 수량을 관리하고 있지만, 열적 변동성은 수율과 가동 시간을 계속 잠식하고 있다. 이러한 편차를 근본적으로 차단...