웨이퍼 가공 장비용 온도 센서

적외선 가열과 강제 공기 순환: 웨이퍼 처리에는 어떤 방식이 더 효과적일까? 웨이퍼 처리에 있어서 고온 공기 대신 적외선을 사용하고 싶다면, “더 나은” 열원을 찾는 것보다는 그 에너지를 실리콘 표면에 어떻게 전달할지가 더 중요합니다. 강제 공기 순환 방식의 경우,...