반도체 처리실의 벽을 더 이상 가열하지 마세요. 만약 반도체 처리실에서 일반적인 대류식 또는 전방향 가열 방식을 사용해본 적이 있다면, 그 고통스러움을 잘 알 것입니다. 웨이퍼를 가열하려고 하지만, 결국 웨이퍼 외의 모든 부분까지 열이 전달됩니다. 내부 벽면은 뜨거워...

IR 램프가 웨이퍼의 품질을 해치는 것을 막으세요. 반도체 공장에서 램프가 고장나는 것은 정말 큰 문제입니다. 단순히 가동 중단 문제만이 아닙니다. 무거운 부하로 인해 석영관이 파열된다고 상상해보세요. 유리 조각과 먼지들이 그대로 웨이퍼 위로 떨어집니다. 그러면 웨이...