맞춤형 산업용 적외선 제조 시스템

팹 내에서는 잘 알려진 사실이 있습니다. 베이킹 온도가 0.5°C만 변해도 치명적인 치수 오차가 발생할 수 있으며, 그로 인해 많은 웨이퍼들이 폐기되고 맙니다. 따라서 청정실의 공기 흐름이나 웨이퍼의 형태, 리소그래피 공정의 속도와 같은 요인들에도 불구하고, 주기마다...