웨이퍼 장비용 적외선 램프 소켓

공정 현장에서 포토레지스트 베이크 중 2°C의 온도 차는 대량의 제품을 폐기할 수 있다. 추측만으로는 수율에 변화가 없다. 변수 하나가 아니라 고정된 상수처럼 작동하는 온도 제어가 필요하다. 적외선 가열: 서브밀리미터 균일도와 반복성 우리는 안정적인 NIR 방출 프로...