가연성 화학물질 주변에서 적외선 히터를 안전하게 사용하는 방법 솔직히 말해서, 적외선 램프를 화학 세정 공정에 사용하는 것은 마치 불장난을 하는 것과 같습니다. 주변에는 휘발성 증기와 부식성 물질들이 날아다니고 있죠. 일반적인 램프를 그냥 사용한다면, 재앙을 초래할...

열을 낭비하지 마세요. 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 단 1와트의 에너지도 소중합니다. 문제는 일반적인 적외선 방출기는 에너지를 모든 방향으로 방출한다는 것입니다. 즉, 전력의 절반이 웨이퍼가 아닌 기계 자체를 가열하는 데 사용됩니다. 이는 엄청난 낭비입니다. 이 문제...

불안정한 화학물질이 존재하는 환경에서 IR 히터를 안전하게 사용하는 방법 솔직히 말해서, 웨이퍼 세척은 위험한 작업입니다. 가연성 용매와 부식성 가스들이 있기 때문에, 이러한 환경에서는 표준적인 적외선 램프조차도 위험한 요소가 될 수 있습니다. 작은 스파크나 누출된...

리소그래피 공정에서는, 포토레지스트를 굽는 동안 0.3°C만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 따라서 안정성을 사후에 추구하는 것이 아니라, 설계 단계에서부터 열 관리를 고려해야 합니다. 기술적으로 중요한 점들 우리는 온도 균일성이 목표가...