웨이퍼를 깨끗하게 건조시켜 생산성을 높이는 방법 클래스 100급 청정실에서 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 어떠한 문제도 발생해서는 안 됩니다. 아주 작은 불순물이라도 있거나, 가열 과정에서 가스가 배출된다면 생산성이 급격히 떨어집니다. 이는 매우 당황스러운 상황...

적외선 가열과 강제 공기 순환: 웨이퍼 처리에는 어떤 방식이 더 효과적일까? 웨이퍼 처리에 있어서 고온 공기 대신 적외선을 사용하고 싶다면, “더 나은” 열원을 찾는 것보다는 그 에너지를 실리콘 표면에 어떻게 전달할지가 더 중요합니다. 강제 공기 순환 방식의 경우,...

불안정한 화학물질이 존재하는 환경에서 IR 히터를 안전하게 사용하는 방법 솔직히 말해서, 웨이퍼 세척은 위험한 작업입니다. 가연성 용매와 부식성 가스들이 있기 때문에, 이러한 환경에서는 표준적인 적외선 램프조차도 위험한 요소가 될 수 있습니다. 작은 스파크나 누출된...

서론 우리는 이 스마트 적외선 가열 시스템을 특정한 장소를 위해 만들었습니다. 바로 반도체 포장 공정의 최전선입니다. 그 목적은 간단했습니다. 필요한 곳에 빠르고 정확하게 열을 공급하면서도 에너지 낭비를 최소화하는 것이었습니다. 이것은 단순한 히터가 아닙니다. 이 시...