Op de lithografieafdeling is het algemeen bekend dat zelfs een kleine afwijking van één graad al ertoe kan leiden dat de dikte van de fotorezist niet meer precies is. En wat gebeurt er als de hitteverdeling ongelijkmatig is? Dan neemt ook de kwaliteit van het eindproduct af. We hebben daarom een infraroodverwarmingslamp met twee buizen ontworpen, zodat deze technische problemen worden voorkomen.
Wat technisch gezien belangrijk is:
De infraroodverwarmingslamp met twee buizen verwarmt snel en zorgt voor een gelijkmatige temperatuurverspreiding over het oppervlak van de chip, met een nauwkeurigheid van ±0,1°C gedurende de hele verwerking. De kwartsomhulling en de reflectoren zorgen voor een consistente warmtedistributie. Bovendien zorgen de materialen die geschikt zijn voor gebruik in schone ruimtes ervoor dat er geen deeltjes worden gegenereerd wanneer het apparaat in een stabiele staat is. De uitgangssnelheid blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met een afwijking van minder dan 5% in intensiteit. Het systeem is bovendien bedoeld om 24/7 te werken, zonder ongeplande stilstand.
Waarom dit systeem effectief is in de praktijk:
Bij het verwerken van fotorezist zorgt deze lamp voor een consistente hitteverdeling, zodat de controle over de belangrijkste dimensies van de chip behouden blijft. De reactietijd op temperatuursveranderingen is voldoende snel, zodat de verwerkingstijd kan worden verkort zonder dat de temperatuur te hoog wordt. Deze stabiliteit heeft ook invloed op het drogen en harden van de chip, waarbij de controle over vocht en luchtbellen cruciaal is. Hierdoor zijn er minder fouten en kan de productiekwaliteit elke keer weer op hetzelfde niveau blijven.
Wat je moet controleren:
De lamp past in bestaande ovens en verwerkingsapparaten, maar het is belangrijk dat de lamp goed wordt uitgelijnd ten opzichte van het oppervlak van de chip. Zelfs een kleine afwijking kan leiden tot een merkbare temperatuurverschillen. Kies de juiste spanning en connector voor je apparaat, en zorg er ook voor dat er na elk procescyclus een gecontroleerde koeling plaatsvindt, zodat de integriteit van het kwartsoppervlak behouden blijft.