Litografide bilindiği gibi, hafif ısıtma işlemleri bile fotoresistin kalınlığını bozabilir; yoğun ısıtma ise ürün kalitesini düşürür. Bu sorunları ortadan kaldırmak için çift tüplü kızılötesi ısıtma lambaları geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar
Çift tüplü kısa dalga boylu kızılötesi lambalar hızlı bir şekilde ısıtır ve doğrudan bağlantı sayesinde waferin her noktasındaki sıcaklık ±0,1°C aralığında sabit kalır. Kuvars gövde ve yansıtıcılar, tekrarlanabilir ısı profilleri sağlar; temiz oda koşullarına uygun malzemeler de stabil durumdayken parçacık oluşumunu engeller. Çıktı, 5.000 saatten fazla süre boyunca stabil kalır ve yoğunlukta %5’ten az bir değişim olur. Sistem, planlanmamış arızalar olmadan 24/7 çalışacak şekilde tasarlanmıştır.
Gerçek üretim süreçlerinde neden kullanılır?
Fotoresist işlemlerinde bu lambalar, tutarlı ısıtma profilleri sağlayarak kritik boyutların kontrolünün sağlanmasına yardımcı olur. Isı tepkisi yeterince hızlı olduğundan, ısıtma süresi kısaltılabilir ve böylece ileri seviye waferlerde termal bütçe aşılmasını önlemiş olursunuz. Aynı stabilite, paketleme ve kurutma işlemlerinde de geçerlidir; burada nem ve boşluk kontrolü öngörülebilir sıcaklık değişimleriyle sağlanır. Bunun sonucunda daha az hata, daha az atık ve vardiya sonrasında da aynı performans elde edilir.
Dikkat edilmesi gerekenler
Lamba mevcut fırın modüllerine ve ısıtma plakalarına yerleştirilebilir; ancak substrat düzlemiyle olan hizalanması çok önemlidir. Küçük bir sapma bile ölçülebilir bir gradyan olarak ortaya çıkabilir. Aletiniz için doğru voltaj ve konektörü seçin ve her döngünün sonunda kuvarsin bütünlüğünü korumak için kontrollü soğutma yapın.