На етапі літографії існує певний правило: навіть незначна зміна температури під час процесу нагрівання може призвести до відхилень у товщині фоторезисту. А якщо ще й виникає нерівномірне нагрівання? Це означає зниження якості продукції. Ми створили лампу з подвійними трубками для інфрачервоного нагріву, щоб усунути ці проблеми.
Що є важливим з технічної точки зору
Лампа з подвійними трубками для короткохвильового інфрачервоного нагріву дозволяє швидко нагріти поверхню пластини, при цьому за рахунок прямого з’єднання температура на всій поверхні пластини залишається в межах ±0,1°C протягом усього процесу. Кварцова оболонка та геометрія відбивача забезпечують стабільність параметрів нагріву. Матеріали, які використовуються в чистих приміщеннях, запобігають утворенню частинок пилу. Рівень потужності лампи залишається стабільним протягом 5 000 годин та більше; відхилення інтенсивності світла становить менше 5%. Система розрахована на безперервну роботу 24/7 без неочікуваних перерв.
Чому ця лампа ідеально підходить для реальних процесів
У процесі обробки фоторезисту ця лампа дозволяє досягти стабільних параметрів нагріву, що є ключовим для контролю розмірів елементів на пластині та запобігання утворенню небажаних структур на її поверхні. Швидка реакція лампи дозволяє скоротити час нагрівання, не допускаючи перегріву. Ця ж стабільність також корисна під час сушіння та висушування пластин – контроль вологості та наявності порожнин залежить від передбачуваних температурних показників. Це призводить до меншої кількості бракованих виробів та стабільної якості продукції протягом усього процесу виробництва.
Що потрібно враховувати під час використання
Лампу можна встановлювати в існуючі овенні модулі та плати для нагрівання, але її правильна посадка щодо поверхні пластини є обов’язковою. Навіть незначне відхилення може призвести до виникнення нерівномірностей на поверхні пластини. необхідно вибрати правильну напругу та тип з’єднувача для вашого обладнання, а також передбачити систему контрольованого охолодження після кожного циклу роботи, щоб зберегти цілісність кварцової оболонки лампи.