晶圆加工设备用温度传感器

红外加热与强制空气加热：哪种方式更适合晶圆处理？ 如果您考虑用红外加热替代传统热风加热来处理晶圆，那么关键不在于寻找“更好的”热源，而在于如何将热量有效地传递到硅片上。 使用强制空气加热时，需要等待空气先被加热，然后再让空气去加热晶圆。这个过程很慢，效率也很低。 而红外加热则不同。它属于辐射式加热...