定制型工业红外制造系统

在芯片制造车间里，温度的精确控制至关重要。如果烘烤温度出现0.5℃的波动，就可能导致芯片的关键尺寸发生纳米级的变化，进而使大量芯片变成废品。因此，我们需要一种能够保持温度稳定的加热方式，无论是在洁净室内的气流影响下，还是面对复杂的晶圆几何结构以及光刻流程时，都能保持温度的稳定性。 系统设计的核心要...