高能效晶圆加热器

停止加热腔室壁面 如果你曾经在半导体生产环境中使用过传统的对流式或全方位加热方式，那你就知道这种方法的局限性了。你试图加热晶圆，但实际上，除了晶圆之外，其他所有部件都会被加热。 腔室内的壁面会变得极热，而设备的外壳也会受到损伤。操作人员则面临着巨大的安全风险。这不仅浪费能源，还会给所有人带来麻烦。...