带金色反射器的红外灯泡
为什么金制反射器在半导体制造中如此重要? 说实话,在半导体制造过程中,控制热量似乎总是一场艰难的战斗。人们不得不不断努力将热量精确地控制在所需位置,同时避免浪费大量电能。 这时,带有金制反射器的红外线灯就派上用场了。这并非什么花哨的营销手段,而是基于基本的物理原理。 金制反射器的优势 大多数人最初...
红外灯用铝制反射器
如何确保红外线加热器在易燃化学物质环境中的安全性 说实话,将红外线灯用于化学清洗过程中,无异于玩火。因为周围有易挥发的蒸汽和腐蚀性物质。如果使用普通的开放式灯具,那无疑是在自找灾难。 为了解决这个问题,我们会用特殊的密封材料包裹加热元件,并使用高纯度的铝制反射镜。这样就能让热量集中在应有的位置,而...
晶圆固化灯反射器
Role 你在晶圆厂车间,光刻胶烘烤不是可选项——它是你的热预算。温度波动1°C就能改变关键尺寸(CD),疲劳的反射镜产生的颗粒能废掉一片晶圆。固化灯中的反射镜是热控和污染防护的第一道防线。
技术上关键的是一个数字:软烤和硬烤过程中晶圆上的温度均匀性需保持在±0.1°C。我们围绕这个目标设计反射镜...