200mm晶圆干燥模块

在200mm生产线中，清洗后的干燥步骤是温度微小漂移变成实际产量损失的关键环节。残余水分和不均匀加热表现为边缘珠、图案崩溃和颗粒缺陷——这时工厂需支付返工和废料的费用。我们构建了200mm晶圆干燥模块，以从源头消除这种变异，而不仅仅是对问题施加热量。 技术上的重要性 该模块在整个200mm范围内保...