用于光刻机的石英玻璃防护罩
如何充分利用热量:为何石英玻璃防护罩如此重要
如果您正在运营智能制造工厂,那么您肯定知道其中存在的挑战。您需要确保红外加热系统能够精确地传递热量,但工厂内的环境往往很复杂,有各种杂质和污染物。这时,石英玻璃防护罩就派上用场了。可以说,它们就像是灯管的“保镖”——它们能够阻挡杂质和污染物的进入,同时...
玻璃晶圆加工红外灯
在芯片制造过程中,玻璃晶圆的加工过程对温度控制有着极高的要求。如果软烘烤时的温度偏差达到0.5°C,那么就会导致光刻胶厚度出现波动;而如果硬烘烤时温度控制不准确,就容易造成图案变形。因此,要想精准控制温度,使用红外灯系统是唯一的解决方案。
关键因素是什么? 我们专门为玻璃晶圆设计了短波红外灯,其光...