半导体激光二极管加热器

在晶圆车间，光刻胶烘烤过程中0.3°C的温度漂移就足以导致大量废品。您已经在追求CD均匀性、光刻胶剖面和粒子计数，而热波动不断侵蚀良率和设备稼动率。我们开发了半导体激光二极管加热器，以从源头减少这种漂移。 技术重点 该装置将激光二极管光源与设计的热堆叠结构相结合，实现烘烤表面晶圆级均匀性...