用于Fab IR的电压调节器

在光刻过程中，如果光刻胶在加热过程中的温度变化达到0.3°C，就足以影响产品的关键尺寸控制，从而导致大量产品报废。因此，不能事后才去追求稳定性，而应该在设计阶段就考虑到这一点。 从技术层面来看，什么才是最重要的？ 我们为红外加热模块设计了这种稳压器，因为在这种应用中，温度均匀性并非首要目标，而是必...