超高纯度加热灯

为什么在半导体加工中我们选择红外灯而非热风加热？ 如果你从事半导体深度加工工作，那么你肯定知道，时间才是最可怕的敌人。正因如此，我们才逐渐放弃使用热风对流方式，转而采用超高纯度红外灯来加热。 归根结底，问题在于如何传递热量。以空气加热为例，这种方式的效率很低——你只是让热气在表面上流动而已，速度很...