लिथोग्राफी प्रक्रिया में, थोड़ी सी भी तापमान-असमानता, पॉलीइमाइड परतों के गुणवत्ता-नियंत्रण एवं उत्पादन-दक्षता पर बुरा प्रभाव डाल सकती है। वेफर पर तापमान-असमानता होना बहुत ही महंगा साबित होता है। इस समस्या से निपटने हेतु हमने इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग किया।
महत्वपूर्ण बातें
ये लैंप, तेज़ एवं स्थिर तापन हेतु शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगों का उपयोग करते हैं। तापमान-समानता का महत्वपूर्ण मान ±0.1°C है; ऐसी समानता बंद-लूप नियंत्रण एवं क्वार्ट्ज-आधारित डिज़ाइन के कारण ही संभव है। ये लैंप क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी उपयोग किए जा सकते हैं, एवं इनकी सामग्रियों/डिज़ाइन के कारण कणों का उत्पादन लगभग शून्य ही रहता है। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में भी एकरूपता बनी रहती है; ऐसे में तापमान-नियंत्रण भी आसान हो जाता है।
उत्पादन में इसका महत्व
दैनिक प्रक्रियाओं में, ऐसे लैंपों के कारण तापमान-असमानताएँ कम हो जाती हैं, उत्पादों की गुणवत्ता सुनिश्चित रहती है, एवं प्रक्रिया भी एकरूप रहती है। ऊर्जा की बचत होती है, क्योंकि ऊष्मा केवल आवश्यक स्थानों पर ही जाती है। उन्नत स्तर पर उपयोग होने वाली पॉलीइमाइड परतों के लिए, ऐसा नियंत्रण कम पुनर्कार्य, कम अपशिष्ट, एवं नियोजित समय-सीमाओं में उत्पादन संभव बनाता है।
व्यावहारिक विवरण
लैंप को चेंबर की ज्यामिति के अनुरूप ही लगाना आवश्यक है; साथ ही, वेफर की सतह पर स्पष्ट दृष्टि होना भी आवश्यक है। पड़ोसी उपकरणों को ऊष्मा से बचाने हेतु भी विशेष व्यवस्था आवश्यक है। लैंप तभी सबसे अच्छा प्रदर्शन करता है, जब उसकी प्रतिक्रिया-गति के अनुरूप ही प्रक्रिया की जाती है… न कि जब अत्यधिक ऊष्मा दी जाती है। दीर्घकालिक एकरूपता हेतु नियमित रूप से लैंप की जाँच आवश्यक है।