IRランプが生産効率を台無しにするのを防ぎましょう。
半導体製造工場では、ランプの故障は大きな問題です。単に生産停止に陥るだけではありません。
重負荷がかかってクォーツ管が割れてしまったと想像してみてください。ガラスの破片やほこりがウェーハに直接降り注ぎます。そうなると、生産効率は完全に失われてしまいます。これは大変な問題であり、また費用もかかります。しかし、これは完全に避けることができます。それが、私たちがIRランプをこのように設計した理由です。
なぜこのようにして管が割れてしまうのでしょうか？
通常、熱衝撃や局所的な過熱が原因です。乾燥工程の時間を短縮するために温度を上げると、クォーツ管が膨張します。もし密封が不完全だったり、電圧が急激に上昇したりすると、管が割れてしまいます。
私たちは、高純度の溶融クォーツを使用し、壁の厚さを適切に調整することで、ハロゲン循環による内部圧力に耐えられるようにしています。そうすれば、ガラスが過度なストレスを受けることはありません。
異物の侵入を防ぐ
ウェーハに何も付着しないように、2段階の安全装置を採用しています。
まず、エンドキャップを強化しました。これにより、電極が動かないようになり、それによってアーク発生が防がれます。
次に、保護シースを追加しました。これは安全ネットの役割を果たします。もし内部のフィラメントが壊れても、外側の層がすべての破片を受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハはきれいなままです。
ちなみに、電源の状態にも注意しましょう。電圧が5％以上変動すると、どんなに良いランプでも早く壊れてしまいます。
トレードオフ
正直に言うと、こうした安全機能によって、わずかな赤外線が吸収されてしまいます。その結果、通常のランプと比べて熱伝達が少し低下することがあります。
これは、保持時間を調整したり、チャンバー内にさらにランプを追加することで簡単に解決できます。小さな調整ですが、ランプが割れてウェーハが台無しになるよりはずっと良いでしょう。