ウェーハにより多くの熱を与える方法
シリコンウェーハを加熱するとき、実際にはエネルギーの損失と戦っていることになります。通常の反射板の問題点は、熱が漏れ出してしまうことです。多くの熱がチャンバーの壁に逃げてしまい、無駄になってしまいます。
そこで、私たちは金でコーティングされた反射板を使用します。そうすれば、そのエネルギーを外に逃がさず、再びウェーハに戻すことができます。
なぜ金なのか？
それは、金が赤外線をどのように扱うかという点にあります。金はアルミニウムやステンレス鋼よりもはるかに優れて赤外線を反射します。高純度の金層を使うことで、反射板自体が熱を吸収するのを防ぎます。
より多くの光子がターゲットに当たり、出力を上げることなく、より高い熱密度を得ることができます。
距離の「最適値」を見つける
ランプとウェーハの間の距離は、難しいポイントです。バランスが重要です。
ランプをあまり近づけすぎると、局所的に過度に加熱されてしまいます。一方、あまり遠ざけすぎると、部屋全体が加熱されてしまいます。
私たちは反射板の形状を調整して、放射エネルギーを集中させます。そうすることで、安全な距離を保ちつつ、十分な熱エネルギーを得ることができます。
ただし、焦点が狭くなればなるほど、熱は強くなりますが、「均一な加熱領域」は小さくなります。ウェーハの大きさや、加熱速度に応じて適切な距離を設定する必要があります。
実際のトレードオフ
金はエネルギーの伝達には優れていますが、柔らかすぎます。そのため、強い洗剤や研磨剤には耐えられません。もし化学物質を使用する場合は、反射板を保護するか、頻繁に交換する必要があります。
そして最後に、一度に大量の熱が一点に集中するため、冷却装置にも注意が必要です。適切なサイズでないと、長時間の使用でランプが壊れてしまう可能性があります。