Op de lithografieafdeling weet je dat zelfs een kleine afwijking in de temperatuur tijdens het bakproces kan leiden tot problemen met de controle van de lijndikte en de opbrengst. Thermische onevenwichtigheden over het hele waferoppervlak zijn zeer kostbaar. We hebben daarom een infraroodlamp ontworpen die zich aan deze beperkingen kan aanpassen, in plaats van ertegen te vechten.
Wat belangrijk is onder het oppervlak De lamp maakt gebruik van kortegolf-infraroodlicht voor een snelle en stabiele verhoging van de temperatuur. Het belangrijkste punt is een temperatuuruniformiteit van ±0,1°C in de bakzone. Dit wordt bereikt door middel van een gesloten regelsysteem en een kwartsgebaseerd ontwerp dat zorgt voor minimale thermische vertragingen. De lamp is geschikt voor gebruik in cleanrooms van klasse 1–100. De materialen en constructie zorgen er bovendien voor dat er zo min mogelijk deeltjes worden geproduceerd. Zowel zachte als harde bakprocedures kunnen nu opnieuw worden uitgevoerd, met een snel herstel van de ingestelde parameters, zodat de thermische stabiliteit behouden blijft.
Waarom dit van toegevoegde waarde is in de productie In de dagelijkse bedrijfsvoering zorgt de lamp voor minder afwijkingen, een betere distributie van de producten en consistente prestaties over het hele oppervlak van het wafer. Je krijgt processen die herhaalbaar zijn en waarvan je de resultaten kunt vastleggen. Bovendien wordt er geen energie verspild aan het opwarmen van de kamer. Voor polyimidelagen op geavanceerde niveaus zorgt deze controle voor minder herwerkingswerk, minder afval en betrouwbare cyclustijden.
De praktische details Voor de installatie moet de lamp worden aangepast aan de geometrie van de kamer. Er moet ook een duidelijke zichtlijn naar het waferoppervlak zijn. Ook moeten de aangrenzende apparaten beschermd worden tegen het stralende warmte, zodat de thermische grenzen in de cleanroom behouden blijven. De lamp presteert het beste wanneer de bakprocedure is aangepast aan zijn responsietijd. Ook is het nodig om regelmatig de intensiteit van de lamp te controleren, zodat de lange termijn-temperaturen op het gewenste niveau blijven.