На виробничій лінії обробка скляних пластин не дозволяє існування термічних відхилень. Якщо процес нагрівання відхиляється навіть на 0,5°C від заданого значення, це призводить до змін товщини фотолаку. Без точного контролю температури може статися руйнування структури пластини. Щоб ефективно контролювати температурні параметри, єдиним рішенням є використання інфрачервоних ламп.
Що має бути важливим під час встановлення
Ми створили інфрачервоні лампи короткої довжини хвилі спеціально для обробки скла. Їх спектральний випромінювання оптимізовано для зменшення поглинання тепла, а також для швидкого досягнення потрібної температури. У зоні нагрівання однорідність температури на рівні пластини становить ±0,1°C, а повторюваність результатів забезпечується завдяки постійному контролю параметрів. Обладнання придатне для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; рівень забруднення контролюється за допомогою спеціальних пристроїв. Інтенсивність випромінювання залишається стабільною протягом 5 000 годин і більше, з відхиленням менше 5%.
Чому це важливо у літографії
У літографічних лініях це означає стабільні процеси нагрівання скляних підложок, кращий контроль параметрів та меншу кількість дефектів. Це дозволяє швидше досягати потрібних параметрів, економити енергію та зменшити кількість відкинутих пластин. Обладнання сумісне зі стандартними форматами пластин та може використовуватися в існуючих системах обробки, що дозволяє зберегти стабільність процесу та покращити термічні характеристики.
Що потрібно контролювати під час встановлення
Під час встановлення важливо забезпечити точну оптичну налаштування та ефективний контроль температури. Якщо система охолодження не функціонує належним чином чи геометрія відбивача не є правильною, однорідність температури порушується. Інтенсивність випромінювання залежить від стабільності ліній, тож необхідно використовувати чисте та стабільне джерело живлення. На налаштування може знадобитися трохи більше часу, але після цього процес буде стабільним, що дозволить уникнути перерв у виробництві та скоротити кількість необхідних технічних ремонтів.