Trong quy trình in khắc bằng phương pháp lithography, bạn biết đấy, ngay cả sự thay đổi nhỏ về nhiệt độ trong quá trình nung cũng có thể làm mất kiểm soát độ rộng của các đường kẻ trên wafer, từ đó ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm. Sự không đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer sẽ gây ra nhiều chi phí phát sinh. Vì vậy, chúng tôi đã chế tạo ra loại đèn hồng ngoại để giải quyết vấn đề này, thay vì cố gắng chống lại nó.
Những yếu tố quan trọng
Đèn hồng ngoại này sử dụng bước sóng ngắn để tạo ra nhiệt độ nhanh và ổn định. Yếu tố quan trọng nhất là độ đồng đều về nhiệt độ trong khu vực nung, với mức độ chênh lệch khoảng ±0,1°C. Điều này được đạt được nhờ hệ thống điều khiển vòng khép kín và thiết kế dựa trên chất liệu thạch anh, giúp giảm thiểu sự chậm trễ về mặt nhiệt độ. Đèn này phù hợp với môi trường phòng sạch loại 1–100; các vật liệu và cấu trúc của đèn giúp giảm thiểu sự tạo ra các hạt bụi. Quy trình nung có thể được lặp đi lặp lại một cách ổn định, với khả năng phục hồi nhanh chóng, giúp duy trì sự ổn định về mặt nhiệt độ.
Lý do tại sao điều này lại quan trọng trong sản xuất
Trong hoạt động hàng ngày, đèn hồng ngoại giúp giảm số lần điều chỉnh cần thực hiện, đồng thời đảm bảo chất lượng sản phẩm ổn định. Bạn có thể ghi nhận được tính lặp lại của quy trình sản xuất, cũng như đảm bảo thời gian hoạt động ổn định. Nhiệt lượng được phân bổ đúng nơi cần thiết, giúp tránh lãng phí năng lượng. Đối với các lớp polyme ở các công nghệ tiên tiến, việc kiểm soát nhiệt độ này giúp giảm thiểu việc phải sửa chữa lại sản phẩm, giảm lượng phế phẩm, và giúp lên kế hoạch cho chu kỳ sản xuất một cách chính xác hơn.
Chi tiết kỹ thuật
Việc lắp đặt đèn hồng ngoại đòi hỏi phải điều chỉnh sao cho đèn phù hợp với cấu trúc của buồng nung, đồng thời đảm bảo rằng có tầm nhìn rõ ràng vào bề mặt wafer. Bạn cũng cần bảo vệ các thiết bị xung quanh khỏi tác động của nhiệt từ đèn, nhằm duy trì môi trường phòng sạch. Đèn hồng ngoại hoạt động tốt nhất khi quy trình nung được điều chỉnh sao cho phù hợp với thời gian phản ứng của đèn. Bạn cũng cần kiểm tra độ mạnh của ánh sáng đèn định kỳ, để đảm bảo độ đồng đều về nhiệt độ trong thời gian dài.