保持晶圆干燥且洁净，从而提高产量
在100级洁净室中干燥MEMS传感器晶圆时，任何意外情况都是不可接受的。哪怕有一小块碎屑或来自加热源的微量气体，都可能导致产量大幅下降。这真是令人沮丧。
因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。
为何石英如此重要
事实上，普通的玻璃或廉价材料根本无法满足要求。当这些材料被置于高温下时，它们会释放出金属杂质。更糟糕的是，快速升温时，它们还可能破裂或产生粉尘。没人希望出现这种情况。
我们选择高纯度石英，因为它能很好地承受热冲击。此外，由于它能够发出红外辐射，热量可以直接穿透晶圆表面的水分并立即将其蒸发掉。这样就不需要接触或摩擦晶圆，也就不会造成任何机械损伤。
去除不必要的成分
为了实现快速干燥效果，关键在于灯内的组件质量。我们使用高级钨材以及高真空密封技术，以确保没有气体泄漏。这样一来，短波红外光就能准确照射到晶圆上。
我们还会严格筛选所有组件，确保没有廉价的粘合剂或有机涂层。因为这些物质会在使用过程中燃烧，从而污染洁净室。从石英外壳到电极，每一个部件都是经过精心挑选的，确保它们不会释放任何气体。
实际应用中的权衡
虽然这些灯的功率很高，但这也意味着它们会变得很热。不仅是晶圆表面，灯的末端也会变热。
您需要仔细检查冷却系统。如果气流不足，热量就会积聚在灯的接口处，进而损坏线路。这虽然是个简单的问题，但却非常重要。
我们设计的灯具尺寸很小，可以直接安装在自动化处理系统中。虽然它们的外观与普通红外灯类似，但正是其高纯度特性才确保了传感器不会因为受潮而失效。