نگهداری گرمایشکنندههای مادون قرمز در مناطق حاوی مواد شیمیایی پرخطر
بیایید صادق باشیم: تمیز کردن ویفرها کاری پرخطر است. شما با حلالهای قابل اشتعال و بخارات خورنده سروکار دارید؛ چیزهایی که میخواهند همه چیز را از بین ببرند. در چنین محیطی، یک لامپ مادون قرمز معمولی نه تنها ابزاری برای انتقال حرارت است، بلکه منبع خطر نیز محسوب میشود. یک جرقه کوچک یا نشتی در بدنه لامپ، میتواند منجر به فاجعه شود.
ما چنین ریسکی را به جان نمیخریم. به جای استفاده از بدنههای باز، همه چیز را در محافظهای ویژه قرار میدهیم.
نحوه عملکرد محافظها
هدف ساده است: جلوگیری از رسیدن گازهای پرخطر به بخشهایی که دارای انرژی هستند. ما لامپها را درون کوارتز یا شیشههای با خلوص بالا قرار میدهیم؛ چیزهایی که میتوانند در برابر مواد شیمیایی مقاومت کنند.
از اتصالات مناسب و جوشکاریهای دقیق برای جلوگیری از نفوذ مواد شیمیایی به داخل لامپ استفاده میکنیم. اگر این کار را انجام ندهیم، مواد شیمیایی میتوانند لوله کوارتز را از بین ببرند.
ما در انتخاب مواد محافظ نیز دقت زیادی میکنیم؛ فقط از موادی استفاده میکنیم که در برابر اسیدها و بازها ذوب یا فساد نشوند. چون اگر این محافظها از کار بیفتند، بخارات قابل اشتعال میتوانند به فیلامنت داغ لامپ برخورد کنند و اوضاع به سرعت بدتر شود. برای ما، مهم این است که محل اتصال محافظ به فلز، سالم باشد.
تعادل بین حرارت و ایمنی
مشکل اینجاست که وقتی یک محافظ ایمنی اضافه میکنیم، لایهای از ماده بین منبع حرارت و ویفر ایجاد میشود؛ در نتیجه، انتقال حرارت کمی کاهش مییابد.
برای حل این مشکل، ما از توان لامپ بیشتری استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود سرعت افزایش حرارت در حد مطلوب باقی بماند، و شما مجبور نباشید برای ایمنی، عملکرد لامپ را فدا کنید.
یک نکته مهم: باید کنترلکنندههای PID را تنظیم کنید؛ چون محافظها باعث تأخیری در پاسخگویی سیستم میشوند.
نگهداری از تجهیزات
هیچ کس نمیخواهد تمام آخر هفتهاش را صرف تعمیر محافظهای ایمنی کند، فقط به این دلیل که لامپ خراب شده است. به همین دلیل، ما این تجهیزات را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به سرعت تعویض کرد.
از اتصالات محکمی استفاده میکنیم تا لامپها به درستی در جای خود قرار بگیرند؛ این کار باعث میشود از اتصالات نامناسب جلوگیری شود.
یک نکته آخر: حتماً سیستم تهویه را بررسی کنید؛ این محافظها گرما را در خود نگه میدارند، و اگر جریان هوا مناسب نباشد، ممکن است سنسورهای اطراف دچار گرمای بیش از حد شوند.