در کارخانههای تولید ویفرهای شیشهای، فرآیند پردازش این ویفرها اصلاً امکان وجود انحرافات حرارتی را نمیدهد. اگر دمای پخت کمی حتی ۰.۵ درجه سانتیگراد از مقدار مورد نظر خارج شود، با مشکلاتی مانند تغییرات ضخامت لایههای فوتورزیست مواجه خواهیم شد. همچنین، اگر فرآیند پخت بدون یکنواختی کافی انجام شود، منجر به فروپاشی الگوهای مورد نظر خواهد شد. برای کنترل دقیق دما، سیستمهای لامپهای مادون قرمز تنها راه ممکن هستند.
عوامل مهم در این فرآیند
ما لامپهای مادون قرمز با طول موج کوتاه را به طور ویژه برای پردازش ویفرهای شیشهای طراحی کردهایم؛ این لامپها به گونهای تنظیم شدهاند که خروجی طیفی آنها با جذب حرارتی کم سازگار باشد و بتوانند به سرعت دمای مورد نظر را دستیابی کنند. در کل منطقه پخت، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین، قابلیت تکرارپذیری این فرآیند نیز بسیار خوب است. این دستگاه برای استفاده در اتاقهای پاک با استاندارد کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، وجود ذرات در این اتاقها نیز از طریق نظارت در حین کار، کنترل میشود. خروجی این لامپها در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، پایدار باقی میماند و انحراف شدت نور آنها کمتر از ۵٪ است.
چرا این روش در لیتوگرافی مفید است؟
در لینهای لیتوگرافی، این روش منجر به انجام فرآیندهای پخت یکنواخت بر روی سطوح شیشهای میشود؛ همچنین، کنترل دقیقتری بر روی ابعاد ویفرها و کاهش تعداد نقصها نیز امکانپذیر میشود. علاوه بر این، زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر کمتر میشود، انرژی مصرفی نیز کمتر خواهد بود و تعداد ویفرهای از کار افتاده نیز کمتر خواهد بود. این روش از فرمتهای استاندارد ویفرها پشتیبانی میکند و میتوان آن را در مدارهای موجود و ماژولهای پوششدهی/پخت نیز استفاده کرد؛ بنابراین، جریان فرآیند تولید حفظ میشود و عملکرد حرارتی نیز بهبود مییابد.
نکات مهم در هنگام نصب
نصب این دستگاه نیازمند تنظیم دقیق نوری و سیستم کنترل حرارتی مناسب است. اگر سیستم خنککننده مناسب نباشد یا الگوی بازتاب نور اشتباه باشد، یکنواختی دما از بین خواهد رفت. خروجی لامپها نیز به پایداری سیستم برقی وابسته است؛ بنابراین، باید از منبع برق تمیز و پایدار استفاده شود. کالیبراسیون این دستگاه نیازمند زمان بیشتری است؛ اما پس از آن، فرآیند پخت به طور یکنواخت انجام خواهد شد که منجر به کاهش زمان توقف تولید و کاهش نیاز به تعمیرات خواهد شد.