Op de productielijn voor glaswafers geeft het verwerkingsproces nauwelijks ruimte voor thermische afwijkingen. Als de temperatuur tijdens het verhitten zelfs maar 0,5°C afwijkt van het gewende niveau, moet je rekening houden met variaties in de dikte van de fotorezistlaag. Zonder een nauwkeurige temperatuurregeling kan dit leiden tot problemen met de vorm van het patroon op de wafel. Om de thermische parameters onder controle te houden, zijn infraroodlampen de enige oplossing.
Wat belangrijk is bij de installatie We hebben speciale kortegolfinfraroodlampen ontwikkeld voor gebruik met glaswafers. Deze lampen zijn zo afgestemd dat ze een spectraal uitstootpatroon hebben dat past bij een lage thermische massa en dat ze snel op temperatuur kunnen komen. In het verhittingsgebied blijft de uniformiteit van de temperatuur op ±0,1°C. De herhaalbaarheid wordt zo geregeld dat Cp/Cpk stabiel blijft tijdens continu gebruik. De apparatuur is geschikt voor gebruik in een schone ruimte van klasse 1–100. Er wordt geen sprake van stofvorming, dankzij continu monitoren van de stofconcentratie. De uitstoot van de lampen blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met een afwijking van minder dan 5%.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie In lithografieprocessen betekent dit consistente verhitting van de glaswafels, lagere fouten per batch en minder verspilde wafels. Ook wordt de tijd die nodig is om de gewenste temperatuur te bereiken verkort. Bovendien werken deze lampen samen met bestaande apparaten en modules, zodat de productieflow behouden blijft terwijl de thermische prestaties verbeteren.
Wat er moet worden gecontroleerd tijdens de installatie Tijdens de installatie is het belangrijk om een precieze optische alignement te bereiken en om een effectief systeem voor thermisch beheer te hebben. Als de koeling niet goed werkt of de geometrie van de reflectoren niet correct is, zal de uniformiteit van de temperatuur verminderen. De uitstoot van de lampen is gevoelig voor de stabiliteit van de elektriciteitsstroom. Het is dus belangrijk om een zuivere en stabiele stroomvoorziening te gebruiken. Er zal wat meer tijd nodig zijn voor kalibratie, maar daarna blijft de prestatie van de lampen constant, waardoor er minder storingen optreden en er minder onderhoud nodig is.