MEMS传感器晶圆干燥加热器

保持晶圆干燥且洁净，从而提高产量 在100级洁净室中干燥MEMS传感器晶圆时，任何意外情况都是不可接受的。哪怕有一小块碎屑或来自加热源的微量气体，都可能导致产量大幅下降。这真是令人沮丧。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。 为何石英如此重要 事实上，普通的玻璃或廉价材料根本无法满足要求。当...