聚酰亚胺烘烤红外灯

在光刻工艺中，哪怕聚酰亚胺层的加热程度有轻微的偏差，都可能影响线宽控制的精度以及产品良率。晶圆表面的温度不均匀会带来极大的成本损失。为此，我们设计了红外灯，以便应对这一挑战，而非试图与之抗争。 关键在于什么？ 该红外灯利用短波红外线来实现快速、稳定的加热效果。其关键指标是：在加热区域内，温度均匀性...