なぜ半導体の加熱にCNT赤外線ヒーターを採用するのか
現在、半導体業界は大きなプレッシャーに直面しています。鉛フリー化の要求やエネルギー消費の削減といった要因から、従来の対流式オーブンではもはや十分ではありません。そのため、私たちはカーボンナノチューブ（CNT）を利用したヒーターへと移行しました。
このヒーターは、部屋中に熱風を送り込むのではなく、直接放射熱を利用します。有害な要素もなく、複雑な空気循環も不要で、クリーンで効率的な暖かさが得られます。
熱が実際にどのように作用するのか
面白いのは、CNTヒーターはカーボンナノチューブのネットワークに電流を流すことで動作する点です。これらのナノチューブは非常に大きな表面積を持っているため、スイッチを入れた瞬間にほぼ所定の温度に到達します。とても速いのです。
また、熱がウェハ全体に均等に分布するため、鉛フリーはんだ接続部が変形するといった問題もありません。さらに、加熱が必要な部分だけを加熱するので、空気が満たされた容器全体を加熱する必要もありません。これは理にかなっています。
詳細な仕組み
鉛フリー材料を適切に硬化させるには、バランスを取る必要があります。温度が高すぎると基板が損傷し、逆に低すぎるとはんだがうまく付着しません。CNTヒーターなら、理想的な温度上昇速度を実現できます。また、VOCを放出しなくてもよく、燃料も不要なので、クリーンルームの管理者にとっても好都合です。
実際、このヒーターは大型の対流式オーブンに比べてずっと少ないスペースを占めます。ただし、電圧の変動に敏感なので注意が必要です。施設の電圧が不安定だと、時間が経つにつれてナノチューブが劣化してしまいます。そのため、必ず専用のレギュレーターを使用することをお勧めします。
切り替えの利点
CNT赤外線ヒーターを使えば、エネルギーコストを大幅に削減できます。長い「ウォームアップ」時間も不要です。単純に接続して、設定を行えばすぐに作業を開始できます。
古い石英ランプの代わりに使えば、過度な高温や低温による破損も防げます。より速い処理速度、よりクリーンな作業環境、そしてラインにかかる負担も大幅に軽減されます。